潔凈室無塵室的等級區分
更新時間：2018-06-10
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潔凈室無塵室的等級區分無塵布的適用范圍很廣,只有潔凈要求比較高的,都會用到,比如,LCD組裝,或是一些表面清潔等 無塵室根據潔凈程度不同分很多等級 目前各半導體加工和面板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多 數字越小,潔凈等級越高 1000級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過1000顆 100級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.3的灰塵顆粒不能超過100顆 注意了,每個等級所管控的顆粒大小也不一樣 依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。 無塵室等級，無塵室標準，無塵室標準定義
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