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真空泵在實(shí)驗(yàn)真空系統(tǒng)的重要性
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。不同的真空泵在性能上也存在差異,由于各種真空泵的性能除均能滿足對(duì)容器進(jìn)行抽真空的共同點(diǎn)之外,尚具有不同之處。因此在選用時(shí)必須明確泵在實(shí)驗(yàn)真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù)至關(guān)重要,泵在各種不同工作領(lǐng)域中所起的作用歸納起來主要有如下幾個(gè)方面:
1、主泵:所謂主泵就是對(duì)真空系統(tǒng)被抽容器直接進(jìn)行抽真空,以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。
2、粗抽泵:粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵。
3、前級(jí)泵:前級(jí)泵是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其許可的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。
4、維持泵:維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí),不能有效的利用主要前級(jí)泵。為此,在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級(jí)泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。
5、粗真空泵或低真空泵:粗、低真空泵是指從大氣開始,降低被抽容器的壓強(qiáng)后工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)范圍內(nèi)的真空泵。
6、高真空泵:高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵。
7、超高真空泵:超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。
8、增壓泵:增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間,用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強(qiáng)范圍的抽氣量或降低前級(jí)泵抽氣速率要求的真空泵。
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