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安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/m。為取得較快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。 可選擇單設定點或30段可編程控制器。節能型的陶瓷纖維材料和雙層結構,可將外表溫度降到常溫。均溫區長,操作簡便,密封可靠,綜合性能指標較高,處于國內*水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。
安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐適用范圍:可在真空不同氣氛空氣不同環境下,對樣品進行快速熱處理,主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
產品特點:
多晶纖維爐膛,節能耐腐蝕
重量輕、升溫速度快、節能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好,能滿足何種快速燒結的要求。
爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工
具有極低的熱膨脹系數、耐高溫、化學穩定性好、電絕緣性好。
雙層內膽爐殼,配有風冷系統,快速升降溫
整個爐體采用雙層內膽式結構,中間有氣隙隔離,即使爐膛溫度高達1200℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
法蘭采用雙環密封技術
有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。
內嵌式合金電熱絲,升溫快,壽命長
加熱元件采用優質內嵌式合金電熱絲,發熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便,使用壽命長。
微電腦PID控制器,操作簡便
操作簡便,控溫精確、可靠、安全多段可編程控制,可以簡化復雜的試驗過程,真正實現自動控制和運行。
爐體配有:輸出電壓和輸出電流監測表,爐子加熱狀態一目了然。
最高溫度 | 1200℃(最高溫度可達1700℃) |
溫區長度 | 440mm(可根據需求定制) |
恒溫區 | 260mm |
爐管尺寸 | Φ60*1500mm |
溫控方式 | 30段PID微電腦可編程自動控制 |
控溫精度 | ± 1℃ |
溫控保護 | 具有超溫及斷偶報警功能 |
加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
加熱元件 | 合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單項 50 Hz |
最大功率 | 3KW |
凈重 | 80KG |
爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強 |
法蘭接頭 | 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統 | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉 |
滑軌尺寸 | 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動長度:1200mm |
測溫元件 | K型熱電偶測溫 |
爐管材質 | 可選氣煉石英爐管、剛玉爐管 |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
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